下面讓低溫等離子電源廠家?guī)Т蠹伊私庖幌碌入x子表面處理設(shè)備的用途。
金屬表面去污并清洗,在真空和瞬時(shí)高溫狀態(tài)下,污染物部分蒸發(fā),污染物在離子的沖擊下被擊碎并被真空泵抽出,紫外破壞污染物,因?yàn)榈入x子處理每秒只能穿透幾個(gè)納米的厚度,所以污染層不能太厚。指紋也適用。在等離子表面處理設(shè)備加工過(guò)程中,通過(guò)處理氣體的作用,被刻蝕物會(huì)變成氣相,例如在使用氟氣對(duì)硅刻蝕時(shí)。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出,表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來(lái)。 等離子表面處理的作用可以簡(jiǎn)單地用滴水來(lái)驗(yàn)證,處理過(guò)的樣品表面被水潤(rùn)濕。長(zhǎng)時(shí)間的等離子處理,材料表面還會(huì)被刻蝕,刻蝕表面具有很小的表面接觸角和較大潤(rùn)濕能力。
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